Verbum

ВА́КУУМНЫЯ ПАКРЫ́ЦЦІ,

пакрыцці, нанесеныя на паверхню метал. і неметал. вырабаў у вакууме накіраваным асаджэннем часціц рэчыва. Бываюць метал. і неметалічныя. Наносяцца тэрмічным або электронна-прамянёвым выпарэннем і катодным распыленнем, а таксама іх спалучэннем.

Трываласць счаплення вакуумнага пакрыцця з матэрыялам асновы абумоўлена т-рай асновы, якасцю падрыхтоўкі і ачысткі яго рабочай паверхні, энергіяй часціц, што наносяцца, і інш. Тэрмічнае выпарэнне ажыццяўляецца з дапамогай розных крыніц нагрэву і адпаведных прыстасаванняў у вакууме 1,33·10​^-1 — 1,33·10​^-5 Па. Пры электронна-прамянёвым выпарэнні выкарыстоўваюцца электронна-прамянёвыя пушкі, якія генерыруюць электроны з вял. скарасцямі. Адначасовым выпарэннем некалькіх матэрыялаў атрымліваюць шматкампанентныя і шматфазныя вакуумныя пакрыцці. Пры катодным распыленні матэрыял, які наносіцца, «бамбардзіруюць» іонамі розных элементаў. Найб. пашырана катоднае распыленне ў тлеючым разрадзе, які ўзбуджаецца ў аргоне і інш. інертных газах пры ціску 2,66—13,3 Па і напружанні 1—5 кВ. Вакуумныя пакрыцці выкарыстоўваюцца ў машынабудаванні, мікраэлектроніцы, выліч. тэхніцы, фіз. оптыцы.

М.І.Дудо.

т. 3, с. 466